박막공정의 핵심요소, 진공 펌프(Vacuum pump)를 알아봅시다. 안녕하세요. 미스터펭귄입니다. 첫 포스팅으로 '진공 펌프(Vacuum pump)'를 소개해드리도록 하겠습니다. 평소 공학을 전공하시는 전공자들은 앞으로 펌프를 많이 접해보실 것이라고 생각합니다. 최근 반도체 산업이 발전하고 있는데, 반도체 공정 중 박막 증착법인 PVD, CVD, ALD에서 가장 핵심요소가 바로 '진공 펌프'라고 할 수 있죠. 진공(Vacuum)은 박막증착 공정뿐만 아니라 표면분석 및 특성평가에서도 중요한 조건이기 때문에 반도체 공정뿐만 아니라 다양한 산업군에서의 핵심·필수 전제조건 역할을 합니다. 이렇게 중요한 '진공(Vacuum)' 상태를 도대체 어떻게 만드는 것일까요? 그 질문에 대한 답은 바로 '진공 펌프(Vacuum pump)' 입니다. 다양한 블로그를 찾아보시면 '진공'에 대해.. 이전 1 다음